RGA(Residual Gas Analyzer)残余气体分析仪是一种用于测量真空环境中微小气体成分的仪器,主要应用于半导体、航空航天、光电等领域。以下为您介绍RGA残余气体分析仪以及如何使用公式计算出其精确的气体残留率。
1. RGA残余气体分析仪百度百科
在进入正题前,让我们先了解一下RGA残留气体分析仪的基本信息。通过在“百度”搜索引擎中输入关键词“RGA”,可以轻松找到“RGA”的相关百度百科页面。这个页面对该设备进行了详细而清晰的阐述:
定义:Residual Gas Analyzer (简称 R.G.A.), 即所谓「 殘餘ガスアナライザー」 是指能夠將低壓環境中存在之各種雜質和元素結構物賦予不同的離子化能力, 進而快速地測定該環境之化學成份與物理特性的儀器。
功能:RGA 能夠分析各种空气组成,检测低压环境中背景气体和残留污染物。同时,它也可以进行定量分析、质谱碎片的鉴别和监视等操作。
应用领域:半导体、航空航天科学技术、化工制药以及各类实验室均能使用 R.G.A. 的相关仪器设备。
2. 气体残余率计算公式
在实际应用过程中,我们需要通过一些数学公式来计算出精确的气体残留率。以下是该项任务所需遵循的步骤:
1)首先,在真空环境下收集样品;
2)然后将样品放入模拟温度条件下,并使之处于恒定状态;
3)通过将大约10分钟间隔采集数据或记录图形来收集相对静止时段内发生的变化情况;
4)统计并计算得到相对稳态范围内每个元素及其落地诸如CO 2 和H 2 O脱降速率(P / t,单位Torr * L / s/cm-²),以便确定目标元素在采样区域内的分布;
5)计算并获得残留率(R)、最大残余气体(MRLs)和其它需要的信息。
以下是用于计算气体残留值所需遵循的基本公式:
其中,X_vapor 表示物质在自由空间中的蒸汽压力;N_atom/molecule表示每个原子/分子中包含多少个原子/分子;A为接收器槽面积。
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